上海一恒BPZ-6060MS真空干燥箱

用途概述
HMDS真空干燥箱用于半导体晶圆在进行HMDS预处理工艺中的干燥，通过程序设定，使抽真空-通氮气-抽真空-等实现自动控制，自动实现HMDS预处理工艺过程，用于光刻过程的涂胶工艺；
高真空干燥箱可在洁净环境下使用，满足洁净环境下的高真空，无尘生产工艺，半导体晶圆生产工艺车间使用，用于半导体、电子、医疗卫生、仪器仪表等领域的无氧化干燥工艺；
产品特点
用智能触摸屏控制，温度、真空度、时间等直接设定，菜单式操作，操作维护方便；
工作室采用316不锈钢，更好耐酸碱腐蚀，确保产品经久耐用，便于清洁；
长方形真空室，使有效容积大，能充分利用空间；
弹性双层钢化玻璃门观察工作室内物体，一目了然；
箱门闭合松紧可调节，整体成型的合成硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度；
增设超温保护温控口，有效的防止温度失控等安全问题；（选配）
低噪声专业真空泵，真空控制稳定可靠；（HMDS真空干燥箱）
采用内胆加热，箱体内无任何电子元器件，无污染，不易被腐蚀，使用更加安全；
采用超高真空泵，能够保证箱体内真空度达1.0×10-4Pa；(高真空干燥箱)
程序控制
程序控制操作，可根据工艺需求设定加热、真空度设定、通氮、时间等参数实现自动程序控制，确保每批次烘烤一致性，降低产品的烘烤差异性；
具有485通讯接口，可以通过外置软件程序实施查看设备运行状况和程序运行状况，保证设备一直运行在监控当中；

上海一恒BPZ-6060MS真空干燥箱技术参数
控温范围：RT+10～250℃
温度分辨率：0.1℃
温度波动度：±1℃
达到真空度：100Pa
真空显示：电子式真空度显示
内胆尺寸(W×D×H)：400×400×400mm
外形尺寸(W×D×H)：600×570×1390mm
搁板：2块
加热方式：内胆加热
工作室材料：316不锈钢
输入功率：3000W
电源电压：AC220V 50HZ

注：性能参数测试在空载条件下为：环境温度20℃，环境湿度50%RH
注：外壳可定制为304不锈钢材质